Ultra nagy tisztaságú gáztisztító/tisztító rendszer/generátor
Alkalmazási területek: elektronikus félvezetők, nagyméretű integrált áramkörök, MAMS, monokristályos szilícium, polikristályos szilícium és szilícium-epitaxia, LED, TFT, gallium-nitrid, szilícium-karbid, tudományos kutatás és fejlesztés, kísérleti elemzés stb.
Ultra nagy tisztaságú gáztisztító/tisztító rendszer/generátor
Jellemzők
● Két torony váltakozó adszorpciós regenerációval, automatikus folyamatos működés. |  |
Táblázatparaméterek
| Sorozatmodellek | Gázhoz | Nyersgáz-index | Termékgáz-index | |||||||||||
| É2 | H2 | A2 | Vel | Ő | A2 | H2A | CO2 | CO | CH4 | H2 | É2 | Részletesség | ||
| 9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mm |
| 9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | 0,003 mm |
| 9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mm |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mm | ||
| 9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | 0,003 mm |
| — | ● | — | — | — | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | ≤0,1 ppb | — | ≤0,1 ppb | 0,003 mm | ||
| Megjegyzés: Általános áramlási specifikációk:1-20000 Nm3/óra;Gyakran használt nyomás:1-20 MPa | ||||||||||||||
a termék jelölése:
